TPY-1椭圆偏振测厚仪采用消光法手动调节，自动测量薄膜厚度和折射率，精度高、灵敏度高、方便测量。光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高。仪器软件具有生成表、查表以及精确计算等功能，方便用户使用。
| 测量范围 | 薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10 |
| 测量厚度最小示值（nm） | ≤1 |
| 偏振器方位角范围 | 0°- 180°读取分辨率为0.05° |
| 测量膜厚精度（nm） | ±1 |
| 折射率重复性精度 | ±0.01 |
| 入射角调节范围 | 20°～90°精度为0.05° |
| 入射光波长（nm） | 632.8 |
| 光学中心高（mm） | 80 |
| 允许样品尺寸（mm） | φ10-φ140，厚度≤15 |
| 外形尺寸（mm） | 590*390*290 |
| 主机重量（kg） | 25 |
基本配置 | 型号 | 名称 | 数量 |
| TPY-1 | 椭圆偏振测厚仪主机 | 1台 | |
| TPY-1 | 主机电控箱 | 1套 | |
| 二氧化硅膜样片 | 1片 | ||
| TPY-1 | 椭圆偏振测厚仪专用软件 | 1套 | |
| 需另配 | 计算机及打印机 | 1套 |