仪器介绍
TPY-2自动椭圆偏振测厚仪采用消光法自动控制，自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度和灵敏度更高等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高。仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。
| 测量范围 | 薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10 |
| 测量厚度最小示值（nm） | ≤1 |
| 偏振器方位角范围 | 0°- 180°读取分辨率为0.05° |
| 偏振器步进角 | 0.014°/步 |
| 测量膜厚（nm） | ±1 |
| 折射率重复性精度 | ±0.01 |
| 度盘刻度 | 每格1度 |
| 仪器测量精度（nm） | ±0.5（薄膜厚度在10-100nm时） |
| 入射角调节范围 | 20°～90°精度为0.05° |
| 入射光波长（nm） | 632.8 |
| 光学中心高（mm） | 80 |
| 允许样品尺寸（mm） | φ10-φ140（或任意形状），厚度≤15 |
| 外形尺寸（mm） | 590*390*320 |
| 主机重量（kg） | 28 |
基本配置 | 型号 | 名称 | 数量 |
| TPY-2 | 椭圆偏振测厚仪主机 | 1台 | |
| TPY-2 | 主机电控箱 | 1套 | |
| 二氧化硅膜样片 | 1片 | ||
| TPY-2 | 椭圆偏振测厚仪专用软件 | 1套 | |
| 需另配 | 计算机及打印机 | 1套 |