| 光学参数/Optical Output | 中心波长（nm）/Center Wavelength（nm） | 1030 nm |
| 平均功率（mW）/Average Power（mW） | 800fs/500fs切换 | |
| 脉冲宽度（fs）/Pulse Width （fs） | 10W(fs)/20W(ps) | |
| 脉冲能量（mJ）/Pulse Energy（mJ） | 20uJ(fs)/40uJ(ps) | |
| 重复频率（MHz）/Repetition Rate（MHz） | 200kHZ-5MHz | |
| 进动区（mm）/Precession zone（mm） | 100mm×100mm | |
| 电学参数/Electrical | 波导激光器/Waveguide laser | 633nm He-Ne, 5mW |
| 行程范围(MM）/Travel range（MM） | X-Y:200mm;Z:100mm | |
| 定位精度（UM）/Positioning accuracy（UM） | ＜5um | |
| 物理参数/Physical | 尺寸（mm）/Dimensions（mm） | 1800×1100×750mm |
| 重量（Kg）/Weight（Kg） | 300kg | |
| 操作温度（°C）Operationg Temperature（°C） | 0-35℃ | |
| 电源（V）/Power Supplyt（V） | 90-240V AC 50-60Hz | |
| 耗电量（W）/Power consumption（W） | ＜500W |