高刚性、高衰减特点的上板使用特殊层压结构高刚性上板，振动衰减特点及刚性好，可根据搭载器具形状与特殊刚性要求分别设计。
自动保持水平搭载器具负荷或位置产生变化，可通过安装的三个调平阀自动保持水平。
全方向隔振系统 使用了最新开发的空气弹簧，提高了水平方向隔振性能，具有高性能隔振系统。
根据搭载器具特性及尺寸、形状进行设计可根据搭载器具特殊刚性要求事项或形状(Foot Print)、搭载重量、重量重心点等装备的参数，专门设计、制造的订购定制型，也可以提供技术解决方案。
高载重、大型尺寸
搭载重量最大10吨也可以正常隔振，大小尺寸可制作到2000㎜ × 4000㎜。
用途
SEM电子显微镜（标准电子组件）
TEM原子显微镜（透射电子显微镜）
Mass 分光计 
Stepper
FTNMR 分光计
坐标测量计
精确真空沉积系统.etc
掩模对准器常规技术条件
固有频率：垂直 1.2 ~ 1.5Hz水平 1.5 ~ 1.8Hz
可搭载重量： 0~ 10,000kg
材质及收尾：蜂窝芯上板、大理石、层压结构不锈钢钢板、静电瓷砖收尾等
压缩空气或质数： 4kg / 以上 产品型号描述
本隔振台的设计制作要根据所需隔振的器具的参数来设计，为了报价及订购，需要如下事项。
器具种类或机型名称 
器具参数或允许振动、重量、大小、有无移动重量（移动距离、移动速度、移动重量） 
安装地点位置及地基状态 (ex：混凝土、钢梁、Raised Floor等)
安装地点振动状态(需要测定振动可委托本公司)
搬移渠道(出口、有无层次, 台阶等)
I：空气弹簧隔振
R：橡胶弹簧隔振
A：Active
上板尺寸（横X竖X高）mmP：摇兰式
C：凹坑式
B：底板式