TMC STACIS III主动隔振系统
STACIS® III是一种灵活的高级主动隔振系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和最先进的压电致动器，通过连续测量地面活动，然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动，以实时消除振动。
STACIS最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现已成为嘈杂环境（包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心）中最敏感仪器的行业标准解决方案。
STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的高级控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口，为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面（GUI）。STACIS在全球已拥有数百个成功的安装案例，是理想的隔振系统，适用于对振动最为敏感的仪器。
产品特点
STACIS比空气隔振器硬数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在最佳状态下运行。
独特的串行设计和专有的高力压电技术
可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的卓越主动隔振性能。
| 主动自由度 | 6 |
| 主动带宽 | 0.6 Hz - 150 Hz |
| 被动固有频率 | 18 Hz垂直和水平 |
| 有效的主动共振频率 | 0.5 Hz |
| 1 Hz时的隔振 | 40% - 70% |
| ≥2 Hz时的隔振 | ≥90% |
| 10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1） | 0.3秒 |
| 内部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
| 每个隔振器的工作负载范围 | 低承重能力：400 - 1100磅（182 - 500千克） 中等承重能力：900 - 2100磅（410 - 955千克） 高承重能力：1900 - 4500磅（864 - 2045千克） |
| 刚度（1000磅 / 454千克质量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
| 从距离隔振器最大4英寸（102毫米）处发射的磁场 | <0.02 μG broadband RMSd> |
| 环境和安全 | 符合CE和RoHS标准 |
| 主动隔振元件 | 最小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷 |
| 被动隔振元件 | 单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源） |
| 振动传感器元件 | 向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压 |
| 主动反馈控制回路 | 在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动 |
| 隔振器尺寸（宽 x 深 x 高） | 11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm |
| 隔振器重量 | 75磅（34千克） |
| 工作温度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
| 储存温度 | -40° - 130° F -40° - 55° C |
| 湿度 | 80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C |
| 系统电源要求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W 符合CE标准 |
| 地面位移 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
| 每个系统的隔振器数量 | 至少3个 |
| 可选附件 | 层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩 |
| 尺寸（宽 x 深 x 高） | 19 x 8.5 x 1.75英寸 483 x 216 x 45 mm |
| 重量 | 6.3磅（2.9千克） |
| 处理器 | 150/75 MHz双核 |
| 采样率 | 10 kHz |
| 模拟输出 | 16个通道 |
| 模拟输入 | 16个通道 |
| 状态灯 | 单个LED |
| 前面板端口 | 1个串行USB 2.0 1个串行Micro-USB 1个以太网RJ-45 2个BNC |
| 后面板端口 | 1个串行USB 2.0 1个以太网RJ-45 1个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器 |
| 用户界面 | 前面板液晶显示屏 超级终端上的字符菜单 适用于Microsoft Windows的扩展GUI 嵌入式以太网GUI |
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