Spirit® 1030-100 和 1030-70 激光器设定了高精度工业制造和非线性 OPA 泵浦的飞秒激光器新标准,带来前所未有的 3 光子显微镜成像性能。这些激光器提供高平均功率、高脉冲能量和高重复频率,实现更高产量。客户得益于工业上可获得的最短脉冲宽度和一流的光束质量,转而能够以最高产量在几乎不产生热影响区 (HAZ) 的情况下加工具有最高精度的复杂而挑战性的部件。Spirit 1030-100 和 1030-70 为工业用途而设计,以最低的购置成本实现稳定可靠的全天候运行。
具有最高产量的最精细特征的高精度加工
经工业验证的 Spirit 平台的新增产品具有令人惊叹的通用性和性能,可满足各种应用的需求。高平均功率 (>100 W) 和高脉冲能量 (>100 µJ) 与高重复频率相结合,以最低的购置成本将飞秒微加工应用推向最高的产量水平。用户可配置的突发模式实现具有更高烧蚀效率的加工,从而为某些材料实现更高的产量和质量。脉冲能量和重复率可调性(单脉冲 – 10 MHz)使 Spirit 1030-100 成为烧蚀和切割的理想光源。集成式脉冲选择器提供具有单脉冲选择的完全激光输出控制,并通过模拟输入信号实现快速的功率控制。
集成式二次谐波产生 (SHG) 在波长 515 nm 时提供 >50 W 的输出功率和 <300 fs 的典型脉冲宽度。这种更短的波长使最精细特征的加工成为可能,根据材料,可获得与其他技术相同甚至更高的速度。
全天候工业可靠性
Spirit 激光器根据严格的质量标准进行设计和测试,实现可靠的全天候运行。内置的数据记录和分析功能可随系统的使用期限对所有相关激光器参数进行监控。此功能本身代表着维修和预防性维护必不可少的诊断工具,能够显著提高工具的正常运行时间,从而提高其工作效率。
聚酰亚胺切割 |
金属钻孔和切割 |
金属钻孔和切割 |
多晶金刚石 (PCD) 切割和烧蚀 |
蓝宝石切割和钻孔 |
3 光子显微镜成像 |
光学参量放大器泵浦 |
时间分辨飞秒光谱研究 |
输出特性 | |||||
Spirit 1030-100 | Spirit 1030-70 | Spirit 1030-100-SHG | |||
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波长 | 1030 nm ±5 nm | 515 nm ±3 nm | |||
输出功率 | >100 W | >70 W | >50 W2 | ||
脉冲能量 | >100 µJ | >70 µJ | >50 µJ2 | ||
重复频率3 | 单脉冲到 10 MHz | ||||
脉冲选择 | 集成式脉冲选择器 (AOM) | ||||
脉冲宽度 | <400 fs | ||||
功率稳定性 | 100 小时 <1% rms | ||||
脉冲对脉冲稳定性 | <2% rms | ||||
空间模式 | TEM00 (M2 <1.2) | ||||
光束直径 | 2.5 mm ±0.5 mm | ||||
发散角,全圆角 | <1 mrad | <0.5 mrad | |||
前脉冲对比率 | >250:1 | ||||
偏振特性 | 横向 | ||||
冷启动时间 | |||||
热启动时间 | |||||
环境规格 | |||||
Spirit 1030-100 | Spirit 1030-70 | Spirit 1030-100-SHG | |||
环境规格 | 15–35°C (59-95°F) | ||||
相对湿度 | <65%, 无结露 | ||||
冷却要求 | |||||
Spirit 1030-100 | Spirit 1030-70 | Spirit 1030-100-SHG | |||
激光头 | 水冷式 | ||||
电源 | 水冷式 | ||||
使用要求 | |||||
Spirit 1030-100 | Spirit 1030-70 | Spirit 1030-100-SHG | |||
电压 | 208-230 V, 50/60 Hz | ||||
电流 | <16 A | ||||
激光头物理特性 | |||||
Spirit 1030-100 | Spirit 1030-70 | Spirit 1030-100-SHG | |||
尺寸(长 x 宽 x 高 | 39.5 x 14.5 x 8.1 英寸 (1003 x 369 x 205 mm) | ||||
重量 | 155 磅 (70 kg) | ||||
带电源和冷却装置的机架物理特性 | |||||
Spirit 1030-100 | Spirit 1030-70 | Spirit 1030-100-SHG | |||
尺寸(长 x 宽 x 高) | 31.5 x 21.8 x 43.4 英寸 (800 x 553 x 1102 mm) | ||||
重量 | 220 磅(100 kg) |
1.产品规格如有变更,恕不另行通知。
2. 对于 1 MHz 的 SHG,最大转换效率为 50%。
3. 可提供特定的预校准重复率;请联系 Spectra-Physics。