光束诱导电流成像检测系统(Light-Beam Induced Current—LBIC— mapping system)是一种高分辨、非直接接触的图象分析手段,通过不同激光波长的在半导体中的吸收距离和微区光电转换,可以表征光电子器件及太阳能电池微区的短路电流分布、表层缺陷、并联电阻、反射率等特性参数,并通过横向扫描(Mapping)形成图像,以反应各种参数的平面均匀性,尤其是晶界和位错分布,为光电子器件及太阳能电池的结构优化和工艺改进提供参考依据。本设备可以广泛应用到单晶硅、多晶硅、非晶硅、碲化镉、铜铟镓硒(CIGS)、有机半导体、染料敏化等各种传统和新型材料的太阳能电池研究,可以广泛应用到GaAsInPGaN光电子器件的研究,克服了大面积光照下I-V测试与单点光谱测试的不对应性和不准确性,大大提高了光电子器件诊断精度。

技术参数:

-- 样品尺寸:Max 100×100 mm2Min 1×1 mm2

-- 激光波长:532也可根据材料的光吸收系数而自行选配320nm.405nm,633nm,785nm,808nm,980nm

-- 激光光斑:1.5um/5um/10μm/50μm/100um可选

-- 测试电流范围:μA1 mA

-- 测试模式:LBICLBIV,内外量子效率,反射率,扩散长度,均为mapping成像

-- 扫描步长:0.020.050.10.2124 mm(可根据实际需要自定义)

-- 扫描速度:15 points/s

-- 可进行单点或连续扫描(mapping)测试

-- 可选择锁相和斩波

-- 可选择源表或者万用表

系统功能:

1)光束诱导电流:特定波长下光束诱导电流逐点扫描成像(LBIC-Mapping),逐点观察短路电流的均匀性、观察表层缺陷(表层厚度随波长吸收长度而定)。

2)光束诱导电压:特定波长下光束诱导电压逐点扫描成像(LBIV-Mapping),逐点观察电压横向扩展的均匀性。

3)光反射率:通过CCD探测反射光,测试光反射率。

4)量子效率:逐点测量电池的外量子效率,内量子效率(测量内量子效率同时需要同时测量光反射率)

5)扩散长度:根据内量子效率,逐点计算扩散长度,得到扩散长度扫描成像。