Shack-Hartmann波前传感器是通过相机前面微透镜阵列的聚焦光斑点的位置来分析波前参数的，可用于在线或者离线分析激光器光斑或者其他光源的波前，以及对光学元器件的精密检测。WFS的参数如下

CMOS相机参数

Sensor Type: 

 CCD 2/3"

Active Area: 

8,97 x 6,71 mm²

Wavelength: 

320 - 1100 nm

# Micro Lenses: 

45 x 35

Frame Rate: 

15 fps

Wavefront Sensitivity: 

λ / 1000

Exposure Time: 

10 µs - 120 s

Digital Resolution: 

12 Bit