6轴并联动态定位器

行程(X, Y, Z): ±29, ±26, 28mm
最小(X, Y, Z): 0.5um
重复精度(X, Y, Z): 0.5um
行程(Фx,Фy, Фz):±12度,±10度,±20度
最小步进(Фx,Фy, Фz)运动：5urad
重复精度(Фx,Фy, Фz)：0.001度=17urad
最大速度(X, Y, Z) :1mm/s
中心负载能力:200N
刚性(Z) :40N/m