我们改善了Picomotor促动器的性能，现在它们可以在真空(10-6 托) 或超真空 (10–9 托)  环境下工作，理想适用于VUV/EUV、光束控制和真空运动控制科研系统中，真空性值得信赖。Picomotor 促动器能在行程范围内提供30-nm  的分辨率，并拥有杰出的长期稳定性和高强度——即使在断电情况也下维持其优秀的定位能力。并且，其测试寿命 >15,000 圈 (>1 0亿步)  ，能轻易的将它集成到你的各种系统中去。

我们的Picomotor  促动器产品可轻松地集成到OEM产品和精密光束控制系统中。

如果您需要无位移的旋转运动控制，您可以使用8341型促动器。

Picomotor促动器可搭配8753智能驱动器或8703  型TTL/模拟驱动器使用。我们的调制iPico驱动器和控制器提供了在同一个控制网络中建立一个引入多种标准和真空兼容Picomotor促动器系统的能力。

标准型真空Picomotor促动器  
Picomotor促动器在高分辨率应用中的注意事项：

我们所有的真空兼容和超高真空兼容Picomotor促动器都有采用Te?on®材料涂层的导线，所以您可以方便的连接到真空腔中的馈入装置中去。然而，如果您同样需要使用到X光线或者其他高辐射应用，我们建议您订购一套Kapton®涂层扩展型导线。白色的Te?on可在高真空环境下使用，但我们不推荐在例如重复曝光X光线和其他辐射的高辐射环境中使用，这样会对产品造成损伤，甚至导致短路。所以，如果您需要在高辐射环境使用我们的Picomotor促动器，请联系我们的技术人员订购这些特殊环境应用的型号。

型号  8301-UHV  型号  8302-UHV 型号  8321-UHV  


使用寿命

我们的标准型Picomotor™促动器的寿命超过15,000  圈。我们的测试程序包括一个5-lb轴向负载和一个圆形偏移的偏移大小为2 mm或1 mm向外的和1 mm 向内的负载。这就是我们产品的寿命在10亿步的原因。

闭环真空Picomotor促动器  

型号  8310-V   

  • 适用于10–6 托真空环境

  • 经校准的高精度定位技术，具有所有传统Picomotor 促动器的优点

  • 兼容于我们的iPico™网络控制器


8310-V型闭环Picomotor 促动器可理想适用于闭环控制和校准应用，与8310型闭环Picomotor促动器一样,  8310-V型拥有一个旋转编码器，可提供正向、反向限位开关。它结合了Picomotor促动器的优点，分辨率<30-nm,可承受负载>5 lbs  (22 N)，以及极好的的长期稳定性和真空兼容性，在其行程内双向重复性可达±1-µm。  

用户可以使用8751-CL型智能闭环驱动器来控制8310-V 型闭环Picomotor促动器。我们的调制智能Picomotor  (iPico)驱动和控制器可提供能够搭建多种标准Picomotor促动器以及同时搭建一个和多个闭环Picomotor促动器控制网络的能力。


技术说明


使用闭环Picomotor™促动器达到纳米级运动控制的一些技巧：


当接近目标编码器的计数时，闭环Picomotor促动器可提供 <1-µm 重复性和63.5-nm 编码器分辨率。  (实际马达的步距要小得多——接近20 nm.) 为了达到恒定的纳米性能，你仅需了解一些注意事项即可。  

使用前可在不锈钢珠顶端和负载表面之间涂上少量润滑油来防止磨损和划伤。我们推荐Krytox GPL 205 或低气压型油膏 LVP  LCT-42.

保证在不锈钢珠顶端和负载表面之间没有散落的碎片。即使有少量微米级的微粒也会使读数和实际移动距离之间造成 0.1 到 10  微米的偏差。  

只能用于推动光滑坚硬的平面，例如Newfocus的平移台和镜架。铝或不锈钢表面会使不锈钢珠脱落。如果负载表面太软，在不锈钢珠顶端和负载表面界面处会变形，导致表面摩擦力增大，永久之后会使表面粗糙，降低重复性。

不要推挤圆锥或V型区域，特别是铝这类柔软材料。当不锈钢珠在柔软物质里摩擦圆锥或V型物体，产生的微粒会导致阻力增加。甚至使马达停止转动。

为了避免促动器螺纹收到伤害，请不要用任何坚硬物体触碰螺纹区域。为了提供优良的分辨率，这些螺纹都十分精密。如果螺纹受损会直接影响产品的使用寿命。  

避免过度夹紧马达外壳。这会增加内部旋转螺丝和外部固定外壳之间的摩擦力，从而导致马达的运动速度变慢甚至彻底损坏，也同样会损伤螺纹。

定期检测不锈钢珠顶端和负载表面的磨损情况，及时采取必要的措施。

增强型 Picomotor™  促动器

型号8330，带有8338连接线  

  • 可用于VUV/EUV和UHV环境中

  • 分辨率<30nm，采用非旋转顶部设计

  • 使用寿命>5,000圈


8330增强型Picomotor促动器专为超净、真空等极端环境下设计，包括超真空紫外环境  (VUV) 和极限紫外环境 (EUV)  的应用等等。它拥有一个特殊的密封阀，确保了促动器在整个行程范围内的洁净度。理想适用于半导体工业或科学实验室中压力小到10–9  托的精确运动控制和光束控制应用。

促动器提供<30-nm的分辨率 (超过3mm行程范围)  ，并拥有极好的长期稳定性。它们无需额外的能量输入就能长期定位，且硬度极高。由于体积紧凑，所以8330能被轻松集成到OEM产品中，同样也能在光学仪器和光学平台上实现更加精确的光束调整控制。其非旋转的顶部设计能提供更高的分辨率

增强型Picomotor促动器经标准气相色谱质谱联用分析(GCMS)测试，在85  °C情况下超过三小时泄漏气体少于0.1 ppm。质谱图结果显示泄漏气体的成分符合标准。

我们提供两种连接线 (需另外购买) 把促动器连接到驱动器  (型号8339)，或先接一个反馈装置，再到驱动器(型号 8338)。