特点:
基于光学扫描的闭环振镜
体积小巧,材料上乘,可在最快时间内作出反应
高精确度和高稳定性
适用于各种激光应用,如激光打标、材料加工、生物医学、成像打印、半导体加工、激光投影等等
机械和电气指标 | 6200H | 6210H | 6215H | 6220H | 6231H | 6230H | 6240H | 6260H |
适合光斑直径(mm) | 3-7 | 3-7 | 3-7 | 5-10 | 8-15 | 8-15 | 12-25 | 30-75 |
转动惯量(gm*cm2, +/-10%) | 0.13 | 0.2 | 0.28 | 1.25 | 8 | 10 | 24 | 475 |
额定偏转角度(°) | ±20 | |||||||
最大转子温度(°C) | 110 | |||||||
线圈电阻(Ohms,+/-10%) | 2.1 | 3.72 | 2.53 | 2.79 | 1.2 | 1.07 | 1.03 | 0.6 |
电流,RMS(A, Max) | 2.3 | 2.4 | 4.1 | 3.9 | 5.8 | 7.1 | 8.2 | 12 |
小角度响应时间(mS,标准负载匹配) | 130 | 100 | 130 | 200 | 250 | 250 | 350 | 700 |
线性度(%, minimum, over 40° optical) | 99.9 | |||||||
线度漂移(PPM/°C,Max) | 50 | |||||||
零漂(uRad/°C,Max) | 15 | |||||||
重复精度(微弧度,Max) | 8 |