PHASICS公司将 SID4的波前测量波长范围扩展到190nm-400nm。SID4 UV-HR是一款适用于紫外波段的高分辨率波前传感器,非常适用于光学元件测量（例如印刷、半导体等等）和表面检测（半导体晶片检测…）。

高分辨率（250x250）

通光孔径大（8.0mmx8.0mm）

覆盖紫外光谱

灵敏度高（0.5um）

优化信噪比