管电压  100 kV
  类型  密封型
  管电压工作波动范围  20 to 100 kV
  最大输出  20 W
  微焦点尺寸  5 to 30 (5um at 4W) μm
  发射角(立体角)  118 degree
  焦点到被测物距离(FOD)  7.3 mm