管电压  90 kV
  类型  密封型
  管电压工作波动范围  20 to 90 kV
  最大输出  8 W
  微焦点尺寸  7 (5um at 4W) μm
  发射角(立体角)  39 degree
  焦点到被测物距离(FOD)  9.5 mm