气垫隔振平台由夹心光学平板及气垫支架、气泵等组成。系统采用单气囊,小孔空气阻尼,隔振效果良好,结构简单可靠,适用于环境振动良好的实验场所。

特点:


基本技术参数:


平面度:0.1~0.2mm/m²; 粗糙度:0.8-1.6um; 固有频率:<2Hz; 台面振幅:1~1.8um