隔振台中的平台部分是三明治结构,上面板为磁性不锈钢板(SUS430),中间为合金钢质蜂窝内芯,下板面使用碳钢材料(SPHC),采用高强度粘接剂整体粘接。


◦蜂窝内芯(蜂窝面积3.2cm2)采用0.25mm厚的合金钢板,和上下板的接触面积大,结构坚固,刚性好。
◦精密研磨压力粘接的上面板,表面弯曲小,平面度好。
◦平台上面板加工了固定光学器件用的25mm间隔的M6螺孔。
◦螺孔下侧被柱形杯密封,可防止化学物质等流入到蜂窝内芯。