SAT系列气浮支撑腿适用于高精度高稳定敏感性的检测仪器:原子力显微镜、干涉仪、光刻机等科学装置和设备。每个光学平台系统根据平台负载和平台自重选用SAT支撑或者BAT支撑,并需配备高压气源(空气压缩机或氮气瓶)和气路控制系统(高度控制阀和管路)实现光学平台的自动平台
SAT:膜片气囊,双气室,空气阻尼,隔振性能好
固有频率:垂向1.2-2Hz
横向1.5-2Hz
应用范围:隔振要求高