型号

MGC101H

MGC101

MGC102

MGC102C

MGC103

MGC104

MGC105

台面尺寸（mm）

65×65

65×65

100×100

100×132

130×130

200×200

300×300

台面倾斜角

±10°

±10°

±20°

±20°

±30°

±45°

±30°

分辨率

0.0001°

0.0008°

0.00005°

0.00004°

0.0001°

0.00006°

0.00005°

重复定位精度

0.008°

0.008°

0.005°

0.005°

0.002°

0.002°

0.001°

传动比

248

348

494

718

270

444

525

步进电机（1.8°）

35步进电机

42步进电机

56步进电机

86步进电机

负载（kg）

5

5

10

10

15

20

30

自重（kg）

0.65

0.65

2.5

2.5

10.3

17

36

备注

应用真空环境中，需单独订货