型号 | MTS311 | MTS312 | MTS313 | MTS314 | MTS315 | MTS316 | MTS317 |
行程（mm） | 50 | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 | 400 |
台面尺寸(mm) | 120×120 | 120×120 | 120×120 | 150×120 | 150×120 | 150×120 | 165×160 |
导轨 | 线性滑块 | ||||||
螺杆导程(mm) | 4 | 5 | |||||
分辨率（mm） | 0.00032 | 0.00039 | |||||
最大速度（mm/s） | 20 | 40 | 50 | ||||
重复定位精度 | ＜0.003 | ||||||
轴向间隙 | ＜0.005 | ||||||
步进电机（1.8°） | 42步进电机 | 56步进电机 | |||||
最大静转矩(Ncm) | 40 | 50 | 80 | ||||
中心负载（kg） | 20 | 30 | 50 | ||||
自重（kg） | 3.4 | 3.8 | 4.1 | 5.5 | 5.8 | 6.3 | 11.5 |
备注 | 可选配防护罩，应用真空环境中，需单独订货 | ||||||
