型号

MTS201

MTS202

MTS203

MTS204

行程（mm）

15

30

50

100

台面尺寸（mm）

65×65

90×90

90×110

115×180

导轨

V形导轨＋交叉滚柱

丝杆导程(mm）

0.5

1

分辨率（mm）

0.000039

0.000078

最大速度(mm/s)

10

重复定位精度(mm）

＜0.003

轴向间隙(mm）

＜0.005

步进电机（1.8°）

42步进电机

最大静转矩(Ncm)

40

中心负载（kg）

10

12

自重（kg）

0.8

1.3

1.5

2.8

备注

应用真空环境中，需单独订货