LLG 100型激光放大器是LLG50型的升级扩展型。采用干涉复合技术使最终输出单脉冲能量得到倍增。按照这种机理，线性偏振的输入光被分解成正交偏振的两个分量。这两个分量沿着相同的光路相向传播通过放大器激活区。这种输入传播方式保证了两个分量光束在激光放大器输出端的相位锁定。。
表。: 指标参数。
| 波长 | 248 nm |
| 单脉冲能量。 | 100 毫焦( 在 > 50 微焦@ 248 nm 种子光脉冲能量条件下) |
| 时间抖动。 | ± 2 ns (相对于触发脉冲。) |
| 光斑 | 36 x 36 mm2 |
| 光束质量 | 2 x 衍射极限 (在 M^2 = 1 输入端) |