二维压电高速扫描平台DMXY.25/23/29，提供XY双轴运动，标准行程25 μm（可选23/29 μm），开环分辨率低至0.1 nm，空载谐振频率高达3000 Hz，响应时间仅0.17 ms，实现极速精准响应。推力40 N，刚度2.5 N/μm，结构紧凑（50×50×16.5 mm，重80 g）。可选闭环型号（尾号-SG），适配高速扫描与微定位场景。