ISTEQ是一家创新的高科技公司,为全球各种工业应用开发了广泛的现成解决方案-高亮度白光光源。 这些主要用于半导体行业以及材料分析和光谱学。ISTEQ主要重点是开发和制造等离子光源、光谱学和显微镜设备,适用于从X射线到红外线的光谱区域。

产品介绍:

ISTEQ 的 XWS 光源产品经过专门开发,适用于多种应用,包括光谱学、高分辨率显微镜、薄膜测量、表面计量等。产品来源基于尖端技术,并受全球专利保护。

XWS 宽带光源的光谱范围有 2 种不同配置,具体选取决于其具体应用:

无臭氧配置(OFR):光谱范围为 240 nm 至 2700 nm

UV 配置:光谱范围为 185 nm 至 2700 nm

产品特点:

·连续激光等离子体放电            ·由于无电极,使用寿命长

·宽光谱范围 190-2500 nm       ·发射体积小

·高光谱亮度                           ·高时空稳定性 STD < 0.15

·通过软件、GUI 进行参数监控,外部光源控制


产品应用:

·吸收光谱和荧光光谱                          ·色谱、微流体、芯片实验室

·显微镜,包括共聚焦和荧光                ·液滴光谱仪、细胞荧光计等中的检测器。

·微电子诊断系统(污染和缺陷控制)   ·生物医学应用(光动力疗法等)

·薄膜和临界尺寸(CD)计量           

·人造阳光系统(测试系统、照明等)

         

                      


型号参数:

型号

XWS-30

XWS-65

XWS-X




光谱范围

UV 

OFR 

UV

OFR

UV




最大光谱亮度(350-550 nm

UV 配置)

UV 配置)

OFR 配置)

UV 配置)




自由空间输出功率

高达 1.8W

高达mW 最小/最大

510/560/630

 350 - 550 nm),160 x 320 160 x 360150 x 260 10000

时间和空间稳定性STD

<0.05%






光源介质

氙灯




自由空间输出0.5

NA(根据要求)

0.5




外部光学接口

30 mm光学笼




等离子体到输出窗口的距离,14.4

FCU版本)

FC

电源

50/60 Hz




气体清扫(仅适用于 99.99%









光头尺寸149 x 166 x 145

130 x 122 x 106






电源尺寸210 x 85 x 46

351 x 175 x 232






水冷光头尺寸-

113 x 150 x 106






液冷单元尺寸-

350 x 166 x 184