DUV透射光栅可覆盖190-400nm深紫外波段。该光栅具备优异的环境稳定性与抗辐照特性,可在严苛环境下保持高性能和持久耐用性。衍射效率表现:>190nm波段达20%,200-240nm波段最高可达50%。提供12.7mm和25mm两种方形规格,刻线密度范围为300-1200线/毫米。适用于半导体制造、生命科学分析等需要高性能解决方案的领域。
处理光栅: 光栅需要特殊处理,容易留下指纹和气溶胶。光栅只能从边缘进行处理。
(该产品有多种型号,图片仅列举两种型号)