HybrYX 单平面混合式 XY 平台是我们气浮产品系列的最新成员，既具备单平面气浮平台的优势，又能显著降低成本。搭载柔性隔振系统的 HybrYX-HD 不仅适用于半导体晶圆处理设备，也是大型基片检测与加工工具的理想选择。柔性隔振系统可确保平台在高速、高加速（高动态）运行时，既不影响关键点位的稳定性，也不会向地面传导振动。

特点：

1.为高要求工业OEM应用提供卓越的性价比

2.适用于对超低速度波动和最小动态跟随误差有要求的扫描场景

3.纯单平面 XY 结构，可选配 θ 轴及 Z 轴-俯仰-偏摆解决方案

4.运行可靠、寿命长久，适合高负载循环环境

5.XY 轴行程可达 1 米以上

6.Y轴扫描速度最高 2 m/s，加速度达 5 g