创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台，以达到更好得使用效果和性价比。

技术参数：

◆样品台XYZR四维调节，XY行程根据样品台尺寸/晶圆尺寸而定，Z轴行程10mm，XYZ整体分辨率3μm，360°旋转粗调可锁紧

◆兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试    

◆整体尺寸小，方便携带，底部隔振地脚，提高测试稳定性

◆漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）

◆探针采用进口交叉滚珠导轨/精密燕尾槽，线性移动，无回程差设计

◆1微米以上电极/PAD使用

◆U型探针架，可以放置多个探针座

◆多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等；广泛用于科研院校以及公司！