LaserTable-Base对现有光学平台的振动隔离技术进行了ji大改shan。通常,光学平台是由低频气动隔振系统支撑。虽然对于高频的隔离非常有xiao,但是实际上被动系统在1-3H乙范围内会放大振动。

TMC的STACIS技术通过将压电陶瓷制动器和惯性振动传感器结合的zhuan利技术来消chu而不是放大低频振动,成功地克服了这些局限。LaserTable-Base综合了气浮和STACIS这两种技术组成一个完整的振动消chu系统。由于两种隔离系统的串联,使此技术的振动隔离范围从非常低的频率到非常高的高频。

LaserTable-Base顶部的气浮部分是模块化的、可替换的。它可以是TMC的Gimbal PistonTM气浮隔振支腿,或者MaxDampB气浮隔离支腿,甚至可以是刚性支腿,这取决于实际应用的需求。


特点


模拟VC-A (2,000 μin./s,50 μm/s)振动测试,负载为2000磅(907 kg)



将低频被动MaxDampQ气浮隔振系统与压电陶瓷主动隔振系统串联,得到垂直和水平方向两个单独的隔振性能曲线。

由此产生的隔振性能对比明显,以至于在某些频率范围内,我们受到测量仪器噪声地板的限制,无法测量和演示完整的隔离性能。也就是说,在10-12 Hz以上,组合系统的实际性能有望超过理论隔振性能曲线,因为组合隔离理论上是两个子系统提供的隔离能力的总和。


应用案例



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