传统双频激光干涉仪系统

我司开发的传统双频激光干涉仪系统分辨率高达0.077nm可溯源至国际标准单位“米”的定义。主要应用于半导体装备长度计量等亚纳米及纳米精度测量领域。

采用双频氨氖激光，具备ppb级波长稳定性采用双频外差干涉技术，抗环境干扰能力强，易进行多轴扩展，低频噪声低

具有高数据采样率，支持动态测量和实时闭环反馈具备VME/ABZ/RS485/网口等多种通讯接口

支持位移、速度、加速度、角度、振动、形变等参量测量

系统指标:

测量分辨率：0.077nm@4倍光学细分，测量范围：20m，采样速率：10MHZ，波长稳频精度：0.002ppm@1hour，通讯接口：VME/ABZ/RS485网口