干涉仪镜组将参考光束和测量光東在空间上分离测量光束通过被测反射镜的反射与参考光束发生干涉被测镜的位移信号被调制成干涉信号。我司针对多种不同的应用场合，开发出了多种类型的干涉仪镜组