适用高精度定位和快速扫描的应用，机械或气浮导轨

行程可达500x1000mm

负载能力可达25kg

分辨率可达1nm

速度可达2m/s

XY正交性

5 μrad

双向重复精度±0.2 μm

准确度±0.35 μm

直线度/平面度1/2 μm

俯仰/偏摆10 μrad