光栅尺位置反馈 直驱电机，准确度±0.2μm，气缸配种最大负载14kg,行程30、60、110、160mm，双向重复精度±0.2μm，分辨率1nm

VZ130 系列超薄直线电机升降台介绍.pngVZ130 系列超薄直线电机升降台介绍1.pngVZ130 系列超薄直线电机升降台介绍2.pngVZ130 系列超薄直线电机升降台介绍3.png