直驱精密线性平台

结构紧凑,XY轴一体式设计高刚性防蠕变交叉滚柱导轨分辨率1nm,重复定位精度士100nm

最小步进5 nm

准确度±0.2 um

行程30/60/110/160 mm

直线度/平面度±2 um

双向重复精度±0.1-±0.2 um