高动态性能

可选项:零膨胀系数光栅尺

光栅尺分辨率可达1nm气隙均和效应,直线度平面度可达±0.25um/100mm

最小步长10nm,行程50/100/200/350/500mm,负载350N，双向重复精度±0.1μm-±0.3μm，准确度±0.2μm-±0.5μm,在位稳定性±10nm