高精度志驱升降台，标配辅助承载气缸，实现大幅再快响应，定位精度优于±200nm，在位稳定性优于5nm(带被动隔振实验室环境），快速响应超薄尺寸，最小步长0.005μm,行程5/100mm,最大负载15kg，双向重复精度±0.15μm，准确度±0.2μm