产品说明：
■零件材质不锈钢，耐辐照性能好，且具有高的刚性；
■真空电机，能适用于高真空、高温和低温等严酷环境，同时我方可根据客户的温度范围配置不同的电机；
■滑轨滑块采用真空中高温滚动导轨；
■精密滚珠丝杠传动，传动效率高、启动力矩小、定位和重复定位精度高；
■内置2个机械限位开关，能适应真空和高温环境，也可实现超程限位保护；
■标准DB9接口，可按照客户的需求配置不同的接头；
■采用标准安装孔位，便于仪器设备安装及多自由度模组组合；
OMTOOLS真空电动平移台OMZK-D系列，能适用于真空、低温、高温、辐照等严酷环境，尺寸紧凑、机械刚性高、重复定位精度高、负载能力强。广泛应用于生物医疗、半导体制造、环境模拟测试设备、真空应用设备及通用自动化等领域。真空电机和电器接头部分支持定制。
通用参数：
主体材质 | SUS304 |
电机及步距角（°） | 步进电机42（1.8°） |
传动方式 | 精密滚珠螺杆导程2 mm |
重复定位精度（um） | ±10 |
常态下最大速度 | 10mm/s |
推荐真空环境中最大速度 | 5mm/s |
真空电动平移台OMZK-D系列
■工作环境温度：最低-40℃，最高85℃，温度范围可按照客户需求来定制；
■真空度：最大10^-5Pa；
■设备行程：50或100mm，行程支持定制；
■最大负载：水平12Kg,垂直8Kg。
■重复精度：0.01mm。
参数表：
型号 | OMZK50D | OMZK100D |
台面尺寸（mm） | 100x99.5 | 132x99.5 |
行程（mm） | 50 | 100 |
传动机构 | 精密滚珠螺杆，导程2 mm | |
导向机构 | 线性滑块导轨 | |
主体材料 | SUS304 | |
整体高度（mm） | 45 | 45 |
自重（㎏） | 5.29 | 6.51 |
分辨率（um） | 10 | 10 |
常态下最大速度(mm/s) | 10 | 10 |
推荐真空环境中最大速度(mm/s) | 5 | 5 |
动态平行度（um） | ≤25 | ≤25 |
重复定位精度（um） | ±10 | ±10 |
回程间隙（um） | ≤5 | ≤5 |
电机及步距角（°） | 步进电机42（1.8°） | |
工作电流（A） | 4.2 | |
电机扭矩（Nm） | 0.32 | |
滑台接头 | DB9(针)，可定制 | |
限位开关类型及电源电压 | 机械式限位开关，24V±10％ | |
水平负载（㎏） | 12 | 12 |
垂直负载（㎏） | 8 | 8 |
工作温度(℃) | -40℃～+85 ℃，可定制 | |
适用最大真空度（Pa） | 1x10^-5 | |
控制输出 | 输出方式：常开输出； 负载电源：无源干接点; | |
输出逻辑 | 限位传感器：到达限位时输出信号断开电流截止 | |
注：精度参数为实验室测得数据