MX 601非接触电阻率测量仪

产品介绍：

MX 601 非接触电阻率测试仪，适用于测量直径最大150 毫米的晶圆。

MX601 可测量由半导体材料（如砷化镓或碳化硅）制成的晶圆的电阻率。无需准备晶片即可快速处理，具有出色的重复性，可最大程度避免压电效应。MX601 的串行接口允许进行数据评估和统计，以及访问校准常数和输出类型。

技术参数：

晶圆直径：<150mm

感光面积：Ø10mm

厚度范围：350 - 650 µm

测量时间：最长时间为4秒

4测量重复性：± 1%

软件：EHMaster

产品应用：

用于快速简单地测量晶圆直径<150mm的SIC, GaN, GaAS, InP等半导体晶圆的高分辨率厚度。