ALPAO高速变形镜的反射面是基于磁激励器的,该变形镜具有行程长、快速校正波前畸变等优点。
主要特点:
●高变形量:
波前相位矫正幅度超过80um;
空间分辨率小于5um;
●高速动态控制:
响应时间小于500μs ±10%;
●出色的调制线性度和低滞后效果:
线性偏差率小于7nm RMS