EX1手动椭圆偏振测厚仪是基于消光法(或称“零椭偏”)椭偏测量原理,针对纳米薄膜厚度测量领域推出的一款手动教学仪器。

EX1 仪器适用于纳米薄膜的厚度测量、以及纳米薄膜的厚度和折射率测量。

EX1仪器还可用于测量块状材料(如,金属、半导体、介质)的折射率n和消光系数k。

特点

仪器采用消光法椭偏测量原理,易于操作者理解和掌握椭偏测量基本原理和过程。

采用水平放置样品,方便样品取放。

集成一体化设计,精巧的仪器外形,方便地显示仪器测量过程中的光强信息。

采用激光作为探测光波,测量波长准确度高。

可测量纳米薄膜的膜厚和折射率、块状材料的复折射率。

手动完成测量,仪器软件辅助进行测量数据的分析。

利用本仪器,可通过适当扩展,完成多项偏振测量实验,如马吕斯定律实验、旋光测量实、旋光等。

应用

EX1适合于教学领域,适用于单层纳米薄膜的薄膜厚度测量,也可用于测量块状材料的折射率n和消光系数k。

EX1可测量的样品涉及微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等领域。

技术指标

项目

技术指标

仪器型号

EX1

测量方式

手动

样品放置方式

水平放置

光源

He-Ne激光器,波长632.8nm

探测光束直径

Φ2-3mm

入射角度

30°-90°,误差0.1°

偏振器方位角读数范围

0-360°

偏振器刻度

2°/格

偏振器最小读数

0.05°

样品方位调整

Z轴高度调节:10mm

二维俯仰调节:±4°

允许样品尺寸

样品直径可达Φ80mm

配套软件

* 多个测量项目选择

* 测量数据分析、计算、输入输出

最大外形尺寸

约400*400*250mm

仪器重量(净重)

约20Kg

选配件

* 半导体激光器

注:(1)测量重复性:是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次所计算的标准差。

性能保证