主要配置

主要配置

参数

型号

FalconScan-14

振镜参数

入射光斑

14mm

跟随误差

0.24ms

标刻速度

50~100rad/s

定位速度

50~100rad/s

1%全行程

0.56ms

10%全行程

1.64ms

重复精度

< 1µrad

增益漂移

< 10ppm/K

零位漂移

< 15µrad/K


8小时漂移

< 0.05mrad

非线性度

<0.1%

扫描角度

±0.35rad

小字符速度

680cps


信号波长

通讯接口

XY2-100 Enhanced;JCZ24-100


供电参数

供电电源

±15V DC,≥5A

基本参数

工作温度

25±10℃



*注: 典型参数,可以根据工艺需求作定制调校 

 

典型应用

FalconScan-14精密振镜可用于光伏加工、金属3D打印、半导体、极耳切割、精密切割/焊接等。

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