概述

TMC现在提供更主动的阻尼UltraDamp™。适用于需要快速稳定y效载荷的高力、高速XY电动工作台的y效载荷。UltraDamp具有j高的阻尼水平,可确保空气隔振器的共振频率不会超过3-5 dB。适用于LCD、PVC检测、光刻机以及其他具有高力电动工作台的仪器。


优势

● 结合了自调平空气隔振器的优与高阻尼的设计

● 非常适合具有机器人运动或电动工作台的y效载荷,可提供所需的隔振并主动稳定y效负载引起的运动

● 更快的工具吞吐量和更高的产量

● 从4-5 Hz开始的水平和垂直隔振

● 共振的*小放大(3-5 dB) 模块化设计。可升级到Electro-Damp®主动消振


性能

比较GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之间的隔振性能水平

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应用案例

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