概述

PEPS®II改进并以TMC的PEPS®(精密电子定位系统)为基础。 通过添加新的数字控制器,PEPS®II更易于使用,提供更多的功能,并具有改进的用户界面。 PEPS®II是一种用于TMC气动隔振系统的数字非接触式高度控制系统。 这种系统通常包括机械高度阀和机械高度传感连杆。 其应用范围从半导体制造设备到g善建立时间和提高产量,再到需要*佳噪声性能和平台稳定性的精密实验室环境。

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特点

• 数字控制,用户友好的LCD界面

• Z轴位置重复性精度:10um

• 用于TMC 气浮隔振系统的数字式非接触高度控制系统,如Gimbal Piston™、CSP®和MaxDamp®隔振系统的非接触式电动气动高度控制,包含控气阀和机械高度传感装置。

• 通过x除传统机械高度控制系统的杠杆接触点g善隔振效果

• 可以调整以快速稳定由X-Y平台引起的运动

• 可选的“VX”功能集成了惯性传感器,用于主动阻尼垂直隔振器共振

• 隔震更敏感,可以显著减少基于空气隔离器的系统的自然共振峰,控制器安装时进行设置,不需要后续设置


系统

• 四个内部伺服阀的数字控制器

• 三个涡流接近传感器

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• 传感器外部连接到数字控制器,并用于测量y效载荷的高度,俯仰和滚动

• 可以使用电脑US,B连接控制器接口进行电脑设置控制及采集数据

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规格参数

物理尺寸

PEPS® II控制器 1.72英寸(43.7mm)高 x 8.0英寸(203mm)宽 x 9.4英寸(240 mm)深

重量

PEPS® II控制器:约3.0磅(1.2千克)

环境
(参见EN 61010-1:1993,
EN 61010-1/A2: 1995)

仅室内使用,*高2,000米海拔(6560英尺)
*大允许温度范围:5°C至35°C
*大允许湿度:31°C以下时为80%,40°C时线性降至50%相对湿度
主电源电压容差:85 VAC - 240 VAC
过电压类别:2
污染等级(IEC 664):2
通风要求:两侧间隙25毫米,上下间隙0毫米

电源要求

电源输入电压范围:90-230 VAC
输入频率范围:50-60 Hz

PEPS® II用户界面(前面板)

电源开关
4个菜单按钮
LCD显示20 x 2个字符
2个诊断插座(BNC型)
三色状态指示灯
US,B 端口

PEPS® II 界面(后面板)

带EMI滤波器的交流电源输入
1个空气输入卡入式端口,用于1/4英寸外径管道
1个空气输出(排气)卡入式端口,用于1/4英寸外径管道
4个空气卡入式端口,用于1/4英寸外径管道(每个隔振器一个)
DB-25公头输入端-输出端和前馈插座
1个Phoenix 0.2英寸间距6引脚绿色接头(垂直接近传感器)
1个Phoenix 3.5毫米间距6引脚黑色接头(水平接近传感器)
接地螺纹螺柱(#10-32螺纹)
DB-25 F插座:1个数字输入端,3个地震检波器传感器接口(“-VX”选件)
DB-25 F插座:1个数字输入端,3个电流输出接近传感器(可选)

PEPS® II性能规格

模拟输入(单极):8 x 12位(16位使用过采样),0 ... 3.0 V满量程
模拟输入(前馈):5 x 12位
(16位使用过采样),±9 V满量程
模拟输入(单极)保护:+5伏,-0.5 V限幅
模拟输入(前馈)保护:±15伏限幅
模拟输出:4 x 12位(16位使用采样),0 ... 3.0 V满量程
模拟输出(可选):8 x 16位,0 ... 3.0 V满量程
模拟输出保护:无,限短路保护,+5伏限幅
数字输入电压额定值:0 ... +3.3 V,+5 V容差(+5伏限幅)
数字输出额定值:0 ... + 3.3 V,*大20 mA
数字I/O保护:+5伏,-0.5伏限幅
外部可用电源:+5 VDC,*大2.0 A;+15 VDC,*大1.0 A(*大20瓦)
通讯端口:US,B,在PC上显示为RS-232
处理器:ARM7TDMI / 41.78 MHz
控制回路率:100 Hz - 2.0 KHz
接近传感器:3个垂直、(3个水平可选)涡流,NAMUR 0-20 mA输出
速度传感器 - 地震检波器(“-VX”选件):3个垂直,电流输出

气动规格

长期高度稳定性:±50微米
长期倾斜稳定性:±50微弧度
伺服阀:4 x 双向可变节流孔比例伺服阀
阀门技术:纯甲类
*大输入压力:120 PSI或8.3巴或830 KPa
标称耗气量:60标准升/分钟(2标准立方英尺/分钟)
空气要求:洁净、干燥的空气,过滤至20微米或以上
故障an全:隔振器在电源故障或断电时会放气
气动接头:“一触式”快速接头,适用于1/4英寸外径软管

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