特性
● X轴、Y轴和Z轴行程为4 mm(0.16英寸)
● θx、θy、θz(摆动、俯仰和偏转)行程为6°(105 mrad)
● 公共支点，实现所有旋转自由度，简化对准，减少串扰
● 平行挠性设计，确保平滑连续的运动和长期的稳定性
● 顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准
● 压电选项提供*高1 nm的分辨率
● 高刚度挠性设计：
○ X轴和Z轴：1 N/µm
○ Y轴：0.5 N/µm
● 共振频率高：>130 Hz(±10%)
● 一体式单移动平台设计
● 所有调节器都耦合到底座，将串扰降到*低
● 模块化设计，便于交换驱动器
● 维护成本低，降低总持有成本
上方应用中，NanoMax 3轴挠性位移台通过AMA554高度转接件在6轴位移台前面对准，载物台高度提升到112.5 mm。
概述
Thorlabs的NanoMax™ 6轴纳米定位挠性位移台非常适合光纤耦合系统，或需要亚微米分辨率的应用。每个装置在X轴、Y轴和Z轴的行程为4 mm(0.16英寸)，在θx、θy和θz的行程为6°(105 mrad)，*大负载能力为1 kg(2.2 lbs)。我们提供带或不带预配置压电驱动器、差分或步进电机驱动器的版本。位移台的标称载物台高度为112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度为112.5 mm的5轴位移台套件。我们也提供转接板，用于将3轴和4轴挠性位移台的载物台高度从62.5 mm提升到112.5 mm，从而兼容我们的6轴位移台。
平行的挠性设计确保j确平滑的连续运动，摩擦几乎可以忽略。对于复杂的多轴定位应用，平行挠性位移台将三个以上自由度集成在单个小型装置中，明显比按序堆叠位移台的设计更具有好的性能。
我们的6轴NanoMax位移台作为功能强大的纳米定位工具还有2个创新点：一是公共旋转支点，二是将所有调节器直接耦合到底座的设计，以尽量减少系统中不太涉及到的运动。
公共旋转点
如下图所示，每个NanoMax 6轴位移台在移动平台前都有不锈钢探针，标记所有旋转轴的公共支点。所有旋转轴具有公共支点，可以减少系统的对准时间，因为这样在调整θx、θy和θz时不需要补偿横向运动。如果移动平台开始平移，支点也会相对底座移动，保持支点和移动平台的相对位置。
可拆下的不锈钢探针顶部标记了所有旋转轴的公共支点
点P是所有三个旋转轴（偏转、俯仰和摆动）的公共支点。
压电选项
开环或闭环的压电选项让这些位移台实现纳米级的分辨率。内置于位移台的压电驱动器具有30 µm的行程，可使用多种开环或闭环压电控制器控制。将这些位移台与NanoTrak控制器(K-Cube、台式或机架系统模块)耦合时，系统具有强大的自对准功能，能够维持光通量，并x除由于热漂移或其它外力引起的耦合效率损耗。这些压电位移台包含6根PAA100驱动电缆，在闭环系统的情况下，包含6根PAA622反馈变换器电缆。
具有开环压电驱动器的位移台没有应变仪位移传感器，非常适合需要定位分辨率低至20 nm的应用。带闭环压电驱动器的版本内部有应变仪位移传感器，可提供与压电元件的位移呈线性比例的反馈电压信号。这种反馈信号将分辨率提高到5 nm，可用于补偿所有压电元件中固有的迟滞、蠕变和热漂移，使这些位移台成为需要纳米级分辨率应用的选择。
请注意，压电机制利用与测微计驱动器的接触来移动顶部平台。不管出于任何原因，如果位移台在拆除测微计驱动器的情况下工作，须在压电驱动器运行之前安装盲塞。
配件的简易对准
我们提供多种配件来安装产品，比如显微物镜、准直器、波导、光纤等更多产品。这些配件可以通过中心键槽在6轴位移台的顶部平台上轻松实现对准。顶部平台的中心键槽便于快速重新配置系统，同时还能在整个实验中维持配件的对准。
位移台规格
| Item # | MAX601D(/M) | MAX602D(/M) | MAX603D(/M) | MAX681(/M) | MAX682(/M) | MAX683(/M) | MAX607(/M)a | MAX608(/M)a | MAX609(/M)a | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Included Drives | DRV3 Differential Micrometer Drives | DRV208 Stepper Motor Actuatorsb | N/A | |||||||
| Travel | X, Y, Z | 4 mmc | ||||||||
| θx, θy, θz | 6° (105 mrad) | |||||||||
| Deck Height (Nominal) | 112.5 mm (4.43") | |||||||||
| Optical Axis Height (Nominal) | 125 mm (4.92") | |||||||||
| Load Capacity (Max) | 1 kg (2.2 lbs) | |||||||||
| Arcuate Displacement (Max) | 80 µm | |||||||||
| Thermal Stability | 1 µm/°C | |||||||||
| RMS Repeatability | 30 nm over 30 µm 0.1% Over full travel range | |||||||||
| Stiffness | X-Axis Z-Axis | 1 N/µm | ||||||||
| Y-Axis | 0.5 N/µm | |||||||||
| Moving Top Plate Dimensions | Imperial |  | ||||||||
| Metric | | |||||||||
| Item # | MAX601D(/M) | MAX602D(/M) | MAX603D(/M) | MAX681(/M) | MAX682(/M) | MAX683(/M) | MAX607(/M)a | MAX608(/M)a | MAX609(/M)a | |
| Theoretical Resolution with External Drives | ||||||||||
| X, Y | 1.5 µm | 1.8 nmd | N/A | |||||||
| Z | 1.0 µm | 1.2 nmd | ||||||||
| θx, θy, θz | 17 µrad | 0.021 µradd | ||||||||
| Item # | MAX601D(/M) | MAX602D(/M) | MAX603D(/M) | MAX681(/M) | MAX682(/M) | MAX683(/M) | MAX607(/M)a | MAX608(/M)a | MAX609(/M)a | |
| Internal Piezo Specifications | ||||||||||
| Control | N/A | Open Loop | Closed Loop | N/A | Open Loop | Closed Loop | N/A | Open Loop | Closed Loop | |
| Drive Voltage Range | 0 - 75 V | 0 - 75 V | 0 - 75 V | |||||||
| Travel | X, Y, Z | 30 µm | 30 µm | 30 µm | ||||||
| θx, θy, θz | 1.8 arcmin (0.52 mrad) | 1.8 arcmin (0.52 mrad) | 1.8 arcmin (0.52 mrad) | |||||||
| Capacitance (Total)e | X, Y | 3.6 µF | 3.6 µF | 3.6 µF | ||||||
| Z, θx, θy, θz | 5.4 µF | 5.4 µF | 5.4 µF | |||||||
| Theoretical Resolutionf | X, Y, Z | 1.0 nm | 1.0 nm | 1.0 nm | ||||||
| θx, θy, θz | 0.018 µrad | 0.018 µrad | 0.018 µrad | |||||||
| Included Piezo Cables | Six PAA100 | Six PAA100 Six PAA622 | Six PAA100 | Six PAA100 Six PAA622 | Six PAA100 | Six PAA100 Six PAA622 | ||||
| Compatible Piezo Controllers | BPC303 MDT693B MPZ601 KPC101 KNA-VIS KNA-IR MNA601/IR BNT001/IR | BPC303 MPZ601 KPC101 KNA-VIS KNA-IR MNA601/IR BNT001/IR | BPC303 MDT693B MPZ601 KPC101 KNA-VIS KNA-IR MNA601/IR BNT001/IR | BPC303 MPZ601 KPC101 KNA-VIS KNA-IR MNA601/IR BNT001/IR | BPC303 MDT693B MPZ601 KPC101 KNA-VIS KNA-IR MNA601/IR BNT001/IR | BPC303 MPZ601 KPC101 KNA-VIS KNA-IR MNA601/IR BNT001/IR | ||||
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