DataRay 狭缝扫描式光束质量分析仪所使用的硅基探测器使得它完美适用于 190nm 至 1150nm 范围内的检测。 Beam'R2 配备 2.5 微米狭缝和更大的刀刃狭缝，能够测量直径小至 2µm 的光束。狭缝扫描式光束质量分析仪的分辨率比相机式系统高得多，而且兼容连续激光和脉冲激光。 。这些分析仪由 USB 2.0 供电，包括一条 3 米长的 USB 2.0 电缆。