美国Filmetrics光学膜厚测量仪,测量膜层厚度从15nm到450um。利用反射干涉的原理进行无接触测量,可测量薄膜厚度及光学常数。测量精度达到埃级的分辩率,测量迅速,操作简单,界面友好。设备光谱测量范围从近红外到紫外线,波长范围从200nm到1700nm可选。凡是光滑的,透明或半透明的和所有半导体膜层都可以测量。


Filmetrics光学膜厚测量仪:

其可测量薄膜厚度在15nm到450um之间,测量精度高达1埃,测量稳定性高达0.7埃,测量时间只需一到二秒, 并有手动及自动机型可选。可应用领域包括:生物医学(Biomedical), 液晶显示(Displays), 硬涂层(Hard coats), 金属膜(Metal), 眼镜涂层(Ophthalmic) , 聚对二甲笨(Parylene), 电路板(PCBs&PWBs), 多孔硅(Porous Silicon), 光阻材料(Thick Resist),半导体材料(Semiconductors) , 太阳光伏(Solar photovoltaics), 真空镀层(Vacuum Coatings), 圈筒检查(Web inspection applications)等。