入口光斑 | 10mm | ||
跟随误差 | 0.11ms | ||
标刻速度 | 8000mm/s | ||
定位速度 | 15000mm/s | ||
1%全行程 | 0.26ms | ||
10%全行程 | 0.62ms | ||
重复精度 | < 2µrad | ||
增益漂移 | < 100ppm/K | ||
零位漂移 | < 25µrad/K | ||
8小时漂移 | < 0.1mrad | ||
非线性度 | < 0.4% | ||
| 扫描角度 | ±0.35rad | ||
信号波长 | 通讯协议 | XY2-100 | |
波长 | 10600nm、1064nm、532nm、 355nm | ||
供电参数 | 供电电源 | ±15VDC，5A | |
基本参数 | 重量 | 2100g | |
工作温度 | 25±10℃ | ||
G3 Ult II振镜可用于半导体、极耳切割、印刷电路板、脆性材料切割、金属微孔等。