STACIS®4是*先jin的主动隔振系统。它装有惯性振动传感器，配合精zhun的控制算法与先进的压电作动器。STACIS 4可实时侦测地面振动，再凭借压电作动器的收缩或膨胀即刻消chu地面振动。全新的STACIS 4建立在我们成熟的STACIS技术基础上，该技术被quan球十大半导体制造商中的九家所使用。

起初STACIS是为半导体工厂的精密光刻机，计量仪和检测设备而设计，如今是嘈杂环境中*敏感仪器的行业标准隔振解决方案，包括但不限于故障分析，纳米技术研究，纳米制造，结构生物学和材料研究等应用。

STACIS 4包括*新改进的，低噪声的数字控制器，DC-2020带有双核处理器。这种新的先进的控制系统为使用者提供了一个易用的图形用户界面(GUI)。

STACIS 4建立在前几代的成功架构上，增加了先进的控制算法和新的zhuan利技术。以前无法实现对建筑物地面所有频率的振动xiao除，但特别是10Hz以下的振动，对高分辨率成像和计量来说是*敏感的。当与FloorSenseTM专li技术相结合时，STACIS4在2Hz时可减少60dB的建筑物地面振动，在1Hz时可减少27dB。


产品优势

● STACIS 4相比于气浮支腿更加坚固可靠，且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。它无气浮支撑，并且与主动的气浮系统不同。STACIS 4可以放置在具有内部主动空气隔离系统的设备下面，且两个隔振系统相互兼容。

● 串联设计和专有的压电技术所产生0.2Hz至150 Hz的宽带的隔离，在2Hz时可减少99.9%的振动。

● 比STACIS III更hao的振动控制，与行业标准解决方案相比，STACIS4将2 Hz的振动控制提高了60 dB以上。

● 稳定的串联设计允许使得您安装后即可，无需再次安装调试，不像并行式设计本质上是不稳定的，需要频繁调整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允许两级振动控制设计，可以在STACIS III系统之上结合被动或主动的平行平台。随着对仪器的振动分辨率的要求越来越高，两级设计正变得越来越普遍。

● STACIS 4的性能相当于在稳定的地面上减少5个VC曲线的振动。这种性能使用户能够灵活地在不理想的振动环境中安装仪器，从而在设施布局和设计方面具有更大的适配性。


性能

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在VC-C(500μin/s,12.5μm/sRMS)的模拟振动下测试4500磅(2045千克)有效载荷。


技术参数

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