266nm紫外脉冲激光器

 

LL266-Q全固态266 nm的紫外激光广泛用于紫外光固化,微电子,光盘雕刻,激光医疗,科学实验等


波长Wavelength (nm)

266±1 

输出功率 Output Power (mW)

1-200

线宽Spectral Linewidth (nm)

<3

工作方式 Operating Mode

脉冲

单脉冲能量(μJ) 

0.1~10

重复速率(kHz)

可操控的

固定重复速率,例如1k,2k,3k,4kHz,稳压激光器脉冲发射(稳定脉冲能量,峰值,持续时间和周期)。



不同的重复速率在1kHz-4kHz的范围内可以通过输入一个外部TTL信号取得。


不可操控的

在4k-10kHz范围内不确定的重复速率和激光器不稳定脉冲发射。需要高峰值能量脉冲以适合应用程序。

光斑模式

Beam Mode

横模 Transverse

Near TE00


纵模 Longitude

Multi-longitude

偏振方式 Polarization

Line polarization

偏振比Polarization Ratio

>100:1

光束质量Beam Quality (M2 factor)

<20

光束发散角Beam Divergence (full angle, mrad)

~2.0

光束直径Beam Diameter at Aperture (mm)

2.0

光束指向稳定性 Beam pointing stability(mrad)

<0.05

功率稳定性Power Stability (RMS, over 8 hours)

<5%,<10%

振幅稳定性Noise of Amplitude (P-P)/噪声值

<3%

出光孔高度 Aperture Position (mm)

25/45

激光头

Laser Head

尺寸 Dimensions (L×W×H, mm)

209 x 8874/204 x 78 x 63


重量 Net Weight (kg)

1.6/2.3

驱动电源

Power Driver

尺寸 Dimensions (L×W×H, mm)

209 x 88 x 74


重量 Net Weight (kg)

2.3

电源型号Integrated Driver Model

F-266

制冷方式Cooling System

TEC

预热时间Warm-up Time (minutes)

<5

工作温度Operation Temperature (℃)

10~35

使用寿命Expected Lifetime (hours)

>10000

保修期Warranty Time

1 year