简介：

虹科ALE1C UV-LED曝光光源是一种用于多用途工业应用的高强度非相干点光源。 它基于 UV-LED 技术，与传统的高压汞放电灯相比具有多种优势，如降低功耗和发热、延长使用寿命以及减少整体设置维护等。该曝光系统提供与 1 kW 和 2 kW 汞弧灯的照明功率相匹配的最高输出水平，建立在平台概念之上，在其光路中最多可组合三个 UV-LED 发射器。 这些光源通常用于光刻工艺（半导体制造）和工业光固化。

特点：

内置实现最高效率和性能

闭环控制输出

LED工艺稳定性和 TCO 优势

无汞设计，未来可持续

高达 50 W 的宽带曝光（UV-LED 350-450 nm）

主要应用

曝光机系统 

光刻机系统（即先进封装投影光刻机系统）

晶圆边缘曝光

在制造设备中要求最高紫外线辐射输出的其它应用（例如、粘合剂固化、宽频带曝光)