主要配置

• 标刻速度：5000mm/s

• 定位速度：10000mm/s

• 1%全行程：≤0.26ms

• 10%全行程：≤0.62ms

• 非线性度：<1mrad/44°

• 重复精度：<2μrad

• 增益漂移：<50PPM/k

• 零位漂移：<25μrad/k

• 8小时漂移：<0.1mrad

• 扫描角度：±0.35rad

• 镜片光斑：10mm

• 接口协议：XY2-100

• 供电：±15VDC，3A

• 重量：2100g

• 工作温度：25℃±10℃

• 分辨率：16bit

• 入射孔径：10mm

• 波长：10600nm、1064nm、532nm、355nm

典型应用

可用于半导体、极耳切割、3C电子、脆性材料切割、3D打印等。