LSV3-小型微加工系统
极短的准分子激光脉冲输出10-20mJ，相当于兆瓦的峰值功率，可以应用在快速成型，微加工和微电子领域。
可用于生物芯片、聚酯、玻璃、硅片、薄金属、陶瓷等材料的加工。
相比其它准分子激光器ATLEX的优势：
脉宽更短(4~6ns),尖峰能量密度更高.更适合高质量的材料加工
空间相干性更好,空间长度>1~2mm
更优秀的光束质量,使得基于微机械加工系统的ATL激光器能满足大部分材料加工的要求
光束定向更稳定.在大于20~60分钟的长时间连续操作下,角偏差保持在200 µm 以内
德国 ATL与比利时OPTEC合作开发的微加工系统，是目前世界范围内最顶尖的小型准分子微加工系统。
特性和规格
| 机器类型 | LSV3头部含n.a。0.2 193nm镜头, 同轴照明及颜色聚焦。TTL 检视。 |
| 结构 | 黑色亚光处理，焊接钢框架,辉长岩基地，桥形结构，蜂巢形光学控制台，光学滑轨。 |
| 激光源 | ATL Atlex准分子激光。 |
| 能量控制 | AT4010 5-85%手动，外加通门控制 |
| 面罩的光束控制 | 动态系统镜面 |
| 面罩 | 机械线性顺序选择器 |
| 德马格设计 | 德马格开关:10X & 16X |
| 目标成像分辨率 | 1.5μm |
| 目标区 | 达10J/cm2 |
| 零件支撑 | TBD |
| 零件移动 | 100×100mm 运动区域,150×150mm 选择范围 |
| 位置重复性 | 1μm |
| 速度 | 200mm/s(受软件限制) |
| 系统控制 | 工业PC, A3200 控制器，过程功率2010 |
| Beath路径 | 管式，冲刷式 |
| 安全性 | 互锁功能，符合CE标准，轻型塔式 |