LSV3-小型微加工系统

极短的准分子激光脉冲输出10-20mJ,相当于兆瓦的峰值功率,可以应用在快速成型,微加工和微电子领域。

可用于生物芯片、聚酯、玻璃、硅片、薄金属、陶瓷等材料的加工。

相比其它准分子激光器ATLEX的优势:

脉宽更短(4~6ns),尖峰能量密度更高.更适合高质量的材料加工

空间相干性更好,空间长度>1~2mm

更优秀的光束质量,使得基于微机械加工系统的ATL激光器能满足大部分材料加工的要求

光束定向更稳定.在大于20~60分钟的长时间连续操作下,角偏差保持在200 µm 以内

德国 ATL与比利时OPTEC合作开发的微加工系统,是目前世界范围内最顶尖的小型准分子微加工系统。


特性和规格


机器类型

LSV3头部含n.a。0.2 193nm镜头, 同轴照明及颜色聚焦。TTL 检视。

结构

黑色亚光处理,焊接钢框架,辉长岩基地,桥形结构,蜂巢形光学控制台,光学滑轨。

激光源

ATL Atlex准分子激光。

能量控制

AT4010 5-85%手动,外加通门控制

面罩的光束控制

动态系统镜面

面罩

机械线性顺序选择器

德马格设计

德马格开关:10X & 16X

目标成像分辨率

1.5μm

目标区

达10J/cm2

零件支撑

TBD

零件移动

100×100mm 运动区域,150×150mm 选择范围

位置重复性

1μm

速度

200mm/s(受软件限制)

系统控制

工业PC, A3200 控制器,过程功率2010

Beath路径

管式,冲刷式

安全性

互锁功能,符合CE标准,轻型塔式